В компрессорном ингаляторе для создания аэрозоля используется воздух, нагнетаемый компрессором, который, смешиваясь с ингалируемым препаратом, проходит через специальную форсунку. В ультразвуковом же для создания аэрозоля используется диафрагма, закрепленная на пьезокристалле, таким образом, что ультразвуковая волна разбивает лекарственное вещество на мельчайшие капли, которые и вдыхает человек.
Из других отличий: ультразвуковой ингалятор практически бесшумен, а вот компрессорный работает достаточно шумно. УЗ-ингалятор обеспечивает большую дисперсность: размер получаемых частиц гораздо меньше, чем у компрессорного аппарата, что обеспечивает большую глубину проникновения лекарственного препарата в бронхо-легочное дерево. Тем не менее ультразвуковой ингалятор имеет свои ограничения - с помощью него можно вводить не все препараты, к примеру, кортикостероиды под действием ультразвука разрушаются.
Это современный компрессорный аппарат:

А это советский УЗ-ингалятор:
